Een nieuwe manier om binnenin chips te kijken
Eindhoven, maandag, 1 juni 2026.
De Eindhovense start-up Invisix heeft 20 miljoen euro opgehaald voor een baanbrekende meettechniek. Het bedrijf gebruikt zachte röntgenstraling om de interne structuur van moderne chips te scannen zonder ze kapot te maken. Deze technologie is gebaseerd op natuurkunde die werd beloond met de Nobelprijs in 2023. Tot nu toe konden bestaande optische methodes niet meer door de complexe, driedimensionale lagen heen kijken. Invisix levert een oplossing voor dit blinde vlekje in de productieketen. Een topchipmaker steunt het project al. De eerste tests gebeurden samen met Intel en imec. De komende stap is klantdemo’s in een nieuw cleanroomlab.
een groeiende behoefte in de chipindustrie
Moderne chips worden steeds complexer. Ze bevatten logica- en geheugenelementen die in drie dimensies bovenop elkaar worden gestapeld. Die structuren zijn zo klein dat traditionele optische meetsystemen ze niet meer kunnen detecteren. Dit creëert een groot probleem tijdens de productie. Als je een laag niet kunt controleren voordat je de volgende erop plaatst, bouw je blind. Dat kan leiden tot fouten die pas later worden ontdekt. Dan is veel geld en tijd verspild. De industrie zoekt daarom dringend naar alternatieven [1]. De nood is vooral hoog bij de fabricage van chips voor kunstmatige intelligentie [2].
van nobelprijs naar praktijktoepassing
De technologie van Invisix is gebaseerd op zogeheten High Harmonic Generation (HHG). Hierbij wordt een kortlaserpuls gericht op edelgassen. Daardoor komen zachte röntgenstralen vrij op meerdere golflengten tegelijk. Deze straling kan dwars door de bovenste lagen van een chip heen gaan. Zo ontstaat een gedetailleerd driedimensionaal beeld van de onderliggende structuren. De methode is non-destructief, wat een belangrijk voordeel is ten opzichte van destructieve controlemethodes. De onderliggende natuurkunde leverde in 2023 de Nobelprijs op voor Anne L’Huillier en collega’s [2][3].
van asml naar eigen succesverhaal
Invisix is een spin-off van ASML, het Nederlandse bedrijf bekend om zijn extreme ultraviolette litografie-systemen. De oprichters zijn ervaren wetenschappers en ingenieurs van ASML. Onder hen zijn CEO Christina Porter en CTO Sietse van der Post, beide voormalig ASML-medewerkers met een achtergrond als natuurkundige promovendi [3]. Het bedrijf heeft tien jaar aan onderzoek en ontwikkeling overgenomen van ASML [2]. Daardoor begint het met een sterke technologische basis. Ook COO Roald Dogge komt uit de sector, hij was eerder COO bij NTS, een grote contractfabrikant [1].
klantvalidatie en toekomstplannen
Invisix heeft zijn technologie al eerder getest in samenwerking met grote spelers zoals Intel en imec [1]. Die demonstraties in 2023 toonden aan dat de methode werkte bij het meten van transistoren met een Gate-All-Around-structuur. Dat zijn erg complexe componenten. Nu zal het opgehaalde kapitaal worden ingezet om een eerste commercieel systeem te bouwen [2]. Er is een nieuw cleanroom-lab in Eindhoven waar klantsdemo’s kunnen plaatsvinden [3]. De financieringsronde trok ook een anonieme topchipmaker, wat een sterk signaal is van marktbetrouwbaarheid [1].
investeringen en concurrentiepositie
De seedfinancieringsronde van 20 miljoen euro was overlopend [2]. Naast de anonieme chipfabrikant doen ook Hitachi Ventures, Transition Ventures, imec.xpand en Doosan Investment Co. mee aan de financiering [1][2]. Volgens Clara Ricard van Transition Ventures is Invisix een van de meest veelbelovende Europese halfgeleiderspecialisten [3]. Het bedrijf benadrukt dat er momenteel nog geen concurrerend meetinstrument op basis van zachte röntgenstraling op de markt staat [3]. Mogelijke concurrenten zijn bedrijven als KLA, Nova en Onto, maar die gebruiken voornamelijk optische technieken [3].